印刷电路板上之图案的边至边对准

摘要

一种用于光学微影技术之光学对准系统，包含：粗略定位机构手段，用以在一个移动式台座上建立起光学微影基板之位置，而该台座具有一个光学上不均匀的表面；第一与第二摄影机，从固定的位置瞄准朝向该不均匀的表面，以产生基板之第一与第二区域之原始影像；图案辨识手段，用以根据台座之移动而实施基板之细微定位；以及，台座移动手段，用以在将基板重新定位于台座上之后移动该台座，直到利用该图案辨识手段而使第一与第二区域之新影像对准于原始影像为止，藉此，对重新定位好的基板产生一个细微的位置定位机构。