| 发明名称 |
FLEXIBLE MEMBRANE ASSEMBLY FOR A CMP SYSTEM |
| 摘要 |
<p>A flexible membrane assembly for a wafer carrier in a CMP system. The flexible membrane assemble has a flat, flexible membrane joined to a rigid cylindrical sidewall.</p> |
| 申请公布号 |
WO2009088807(A1) |
申请公布日期 |
2009.07.16 |
| 申请号 |
WO2008US88360 |
申请日期 |
2008.12.26 |
| 申请人 |
SPIEGEL, LARRY, A.;STRASBAUGH |
发明人 |
SPIEGEL, LARRY, A. |
| 分类号 |
H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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