利用激光制造结晶膜的方法

摘要

本发明涉及利用激光制造结晶膜的方法。根据本发明，首先提供一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件。接着，向该薄膜施加脉冲激光束，该脉冲激光束在沿该薄膜的表面上沿一个方向具有细长形光束截面，通过该脉冲激光束，该薄膜被熔融，之后使该薄膜凝固。在第一带状区域内连续形成沿光束截面的长轴方向排成链的晶粒，该第一带状区域沿光束入射区域的长轴方向延伸，并处在光束入射区域中位于其中心线与沿长轴方向延伸的光束入射区域的边界之间的区域中，且与所述边界和中心线隔开一定距离。通过上述方式，本发明可以很方便地获得大晶粒。

主权项

1. 一种多晶膜制造方法，包括以下步骤：(a)制备一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件；(b)向该薄膜施加至少一道脉冲激光束，该脉冲激光束在该薄膜表面上沿一个方向具有细长形光束截面，且沿光束截面的短轴方向的光强分布具有在中心区域强、向边界减弱的不对称第一形状，所述脉冲激光束通过用一掩膜光屏蔽掉沿光束截面的短轴具有中心区域强并向着边界减弱的形状的光强分布中等于或弱于第一光强的一第一裙部的一部分并不光屏蔽掉一第二裙部的一部分或光屏蔽掉等于或弱于一第二光强的第二裙部的一部分的方式获得，其中所述第二光强比所述第一光强弱；(c)移动脉冲激光束的入射位置和工件中的至少一个，以使脉冲激光束的入射位置在薄膜的表面上沿一个与脉冲激光束的光束截面的长轴方向交叉的方向移动，且使施加了一道脉冲激光束的区域与施加前一道脉冲激光束的区域部分重叠；(d)向该薄膜施加至少一道脉冲激光束，该脉冲激光束具有该第一形状的光强分布；以及(e)交替重复步骤(c)和步骤(d)。