| 发明名称 |
Liquid processing apparatus, liquid processing method, computer program, and storage medium |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1914791(A3) |
申请公布日期 |
2009.07.15 |
| 申请号 |
EP20070020204 |
申请日期 |
2007.10.16 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD. |
发明人 |
TANAKA, HIROSHI;HYAKUTAKE, HIRONOBU;KAMIKAWA, YUJI |
| 分类号 |
H01L21/00;B08B3/04;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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