气体发生装置的电流控制方法和电流控制装置

摘要

本发明提供一种能够持续最佳的电解状态并稳定操作，且无需靠人工就能够发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法和电流控制装置。本发明是一种使由含有氟化氢的混合熔化盐构成的电解浴(5)，用碳电极作为阳极(4a)进行电解而发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，测定在气体发生装置上施加了一定电流后的阴极(4b)、阳极(4a)之间的电压变动幅度，并一边按照电压变动幅度改变投入电流量一边施加电流。

主权项

1. 一种发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，所述气体发生装置在由含有氟化氢的混合熔化盐构成的电解浴中用碳电极作为阳极进行电解而发生氟或氟化物气体，该方法包括：根据所述电解浴的容量确定目标操作电流；设定各次增加的电流量以便通过多次增加达到所述目标操作电流；测定在所述气体发生装置上施加一定电流时的阴极、阳极之间的电压变动幅度，根据所述电压变动幅度，当每单位时间的电压变动幅度在预先设定的正常范围时，在已施加的电流的基础上增加设定的电流量直至达到所述目标操作电流，当每单位时间的电压变动幅度在预先设定的注意范围时，维持已施加的电流。