一种定点锁固式内传输框架结构

摘要

本实用新型提供了一种定点锁固式内传输框架结构，该结构在真空溅镀作业的腔体内锁固一框架，且该框架锁固于腔体内时，其锁固位置限于其框缘的四角隅处。即该腔体内底部四角落适当处各凸设一锁置座，而该框架对应该四个锁置座的位置，则各贯穿形成一第一锁孔，用以供若干定位调整单元一端分别穿设第一锁孔而锁固于锁置座处。该框架于两侧底部前后的第一锁孔间，另等间隔形成有若干第二锁孔，各第二锁孔处可分别供一调整螺丝螺设，作为框架水平调整之用，并于水平调整完毕后，利用螺帽锁紧固定其水平高度。本实用新型不仅精简了框架锁固的作业，方便了框架的水平调整，更能改善框架承受真空压力的结构性。

主权项

1. 一种定点锁固式内传输框架结构，包含一真空溅镀用的腔体，以及锁固组设于所述腔体内的框架，其特征在于：所述框架锁固于腔体内，锁固位置限于框缘的四角隅处，即所述腔体内底部四角落适当处各凸设一锁置座，而所述框架对应所述四个锁置座的位置，则分别贯穿形成一第一锁孔，若干定位调整单元一端分别穿设所述第一锁孔锁固于锁置座处。