发明名称 像素结构及其制造方法
摘要 本发明公开了一种像素结构及其制造方法。首先,于基板上形成第一图案化导体层,其包括栅极以及数据线。接着,于基板上形成栅极绝缘层,以覆盖第一图案化导体层,并于栅极上方的栅极绝缘层上形成半导体通道层。然后,于栅极绝缘层以及半导体通道层上形成第二图案化导体层,其包括扫描线、共通电极线以及源极与漏极。扫描线与栅极电性连接,共通电极线位于数据线上方,而源极与漏极位于半导体通道层上,且源极电性连接数据线。随之,于基板上形成保护层,以覆盖第二图案化导体层,然后于保护层上形成像素电极,且像素电极与漏极电性连接。
申请公布号 CN100514168C 申请公布日期 2009.07.15
申请号 CN200710140138.1 申请日期 2007.08.06
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 林祥麟;刘松高
分类号 G02F1/1362(2006.01)I;G09G3/36(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I 主分类号 G02F1/1362(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人 梁 挥;祁建国
主权项 1. 一种像素结构的制造方法,其特征在于,包括:形成一第一图案化导体层于一基板上,该第一图案化导体层包括一栅极以及一数据线;形成一栅极绝缘层于该基板上,以覆盖该第一图案化导体层;形成一半导体通道层于该栅极上方的该栅极绝缘层上;形成一第二图案化导体层于该栅极绝缘层以及该半导体通道层上,该第二图案化导体层包括一扫描线、一共通电极线以及一源极与一漏极,其中该扫描线与该栅极电性连接,该共通电极线位于该数据线上方,而该源极与该漏极位于该半导体通道层上,且该源极电性连接该数据线;形成一保护层于该基板上,以覆盖该第二图案化导体层;以及形成一像素电极于该保护层上,且该像素电极与该漏极电性连接,该共通电极线与该像素电极部分重迭而构成一储存电容。
地址 台湾省新竹