摘要 |
1. Способ обработки подложки, включающий: нанесения на подложку слоя по меньшей мере одного металла для формирования на подложке нанесенного металлического слоя и отверждение нанесенного металлического слоя при давлении ниже атмосферного для формирования на подложке металлического защитного слоя. ! 2. Способ по п.1, в котором нанесенный металлический слой отверждают под давлением, составляющим приблизительно от 14 абс. фунтов на кв. дюйм (97 кПа) до 1,9·10-5 абс. фунтов на кв. дюйм (0,13 Па). ! 3. Способ по п.1, в котором нанесенный металлический слой отверждают при температуре, составляющей приблизительно от 600 до 1400°F (760°С). ! 4. Способ по п.1, в котором нанесенный металлический слой включает олово, сурьму, висмут, кремний, свинец, ртуть, мышьяк, германий, индий, теллур, селен, таллий, медь, хром, латунь, интерметаллические сплавы или их сочетание. ! 5. Способ по п.1, в котором нанесенный металлический слой имеет толщину, составляющую приблизительно от 1 мил (25 мкм) до 100 мил (2,5 мм). ! 6. Способ по п.1, в котором металлический защитный слой имеет толщину, составляющую приблизительно от 1 до 150 мкм. ! 7. Способ по п.1, в котором нанесенный металлический слой отверждают в восстановительной окружающей среде. ! 8. Способ по п.1, дополнительно включающий контакт металлического защитного слоя с мобилизационным агентом с последующим процессом секвестрации. ! 9. Способ по п.1, в котором металлический защитный слой дополнительно включает обедненный никелем связующий слой. ! 10. Способ по п.9, в котором связующий слой включает станнид. ! 11. Способ по п.9, в котором связующий слой имеет толщину, составляющую приблизительно от 1 до 100 мкм. ! 12. Способ по п.9, в котором связ |