PRESSURE SENSOR, AND METHOD FOR THE CALIBRATION THEREOF

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung eines Drucksensors, welcher eine bewegliche Membran über einem Hohlraum aufweist, wobei zur Kalibrierung die Membran durch eine elektrostatische Kraft ausgelenkt und diese Auslenkung gemessen wird. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Drucksensor, aufweisend eine bewegliche Membran, welche sich über einem Hohlraum erstreckt, mindestens ein Elektrodenpaar, welches mit einer elektrischen Spannung beaufschlagbar ist, wobei die elektrische Spannung zu einer Auslenkung der Membran führt, Mittel zur Bestimmung der Auslenkung der Membran und eine Einrichtung zur Modulation der elektrischen Spannung.