铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的镀膜设备，包括反应容器、设于反应容器外并与之连通的真空泵、设于反应容器内的加热装置和给反应容器内提供等离子体的等离子体发生装置，所述反应容器下方设有上端伸入反应容器内部的转动轴，所述反应容器还连通设有保护气体输入装置和硒化和/或硫化反应源装置。本实用新型可以保持原有方法的较高转换效率，也避免使用硒化氢或硫化氢等剧毒气体，提高镀膜加工安全，还提高了硒源和/或硫源的使用效率。

主权项

1. 一种铜铟镓硒硫或铜铟镓硒或铜铟镓硫薄膜太阳能电池吸收层的镀膜设备，其特征在于：包括反应容器(4)、设于反应容器(4)外并与之连通的真空泵(6)、设于反应容器(4)内的加热装置(8)和给反应容器(4)内提供等离子体的等离子体发生装置(7)，所述反应容器(4)下方设有上端伸入反应容器(4)内部的转动轴(5)，所述反应容器(4)还连通设有保护气体输入装置(9)和硒化和/或硫化反应源装置(10)。