柔性高阻多层透明导电膜的制备方法

摘要

一种柔性高阻多层透明导电膜的制备方法，它采用中频磁控溅射技术在柔性基材PET聚酯膜的一面依次连续形成二氧化钛层、二氧化硅层、铟锡氧化物层、锌铝氧化物层或锌镓氧化物层；在铟锡氧化物层的成膜过程中，利用高能粒子连续轰击和沉积在PET聚酯膜上产生的热能，使温度达到120℃或更高并控制氧铟原子比在1.26-1.29而获得结晶结构的铟锡氧化物层；所述PET聚酯膜另一面与第二层PET聚酯膜的一面相粘接，第二层PET聚酯膜的另一面设置硬涂层；用中频磁控溅射技术在硬涂层上依次连续形成二氧化钛层、二氧化硅层。产品在较高温度时有良好的电阻稳定性和耐久性，生产流程短、效率高、成本低，制品在随后的工艺过程中不翘曲。

主权项

1、一种柔性高阻多层透明导电膜的制备方法，其特征是，该方法为：采用中频磁控溅射技术在柔性基材PET聚酯膜(1)的一面依次连续形成二氧化钛层(2)、二氧化硅层(3)、铟锡氧化物层(4)、锌铝氧化物层或锌镓氧化物层(5)；在铟锡氧化物层(4)的成膜过程中，利用所述二氧化钛层(2)和二氧化硅层(3)中频磁控溅射成膜时高能粒子连续轰击和沉积在PET聚酯膜(1)上产生的热能，使温度达到120℃或更高，从而获得结晶结构的铟锡氧化物层(4)；并控制氧铟原子比(O/In)在1.26—1.29范围，获得电阻稳定的铟锡氧化物层(4)；所述柔性基材PET聚酯膜(1)另一面经粘结层(6)与第二层PET聚酯膜(7)的一面相粘接，并在该第二层PET聚酯膜(7)的另一面设置硬涂层(8)；用中频磁控溅射技术在硬涂层(8)上依次连续形成二氧化钛层(9)、二氧化硅层(10)。