一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器

摘要

本实用新型公开了一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器，在样品台下方设置有上端开口的环形的金属电子屏蔽罩，电子屏蔽罩的下方设置有样品台支撑杆，样品台支撑杆的下方设置有真空法兰；于所述环形的电子屏蔽罩内设置有电子枪灯丝，电子枪灯丝的四周设置有金属电子枪灯丝罩，电子枪灯丝通过导线与控制电源相连；在电子枪灯丝上方的电子枪灯丝罩和样品台上分别开设有孔，电子枪灯丝罩上的开孔与样品台上的开孔相对应。本实用新型利用热发射的电子束轰击样品背面实现能量的传递来加热样品，能够显著提高超高真空表面分析系统处理多种样品的能力，特别适用于高熔点金属样品，也可以处理SiC等半导体薄片。

主权项

1. 一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器，其特征在于：包括样品台、电子枪灯丝、电子屏蔽罩、控制电源；所述样品台下方设置有上端开口的环形的金属电子屏蔽罩，电子屏蔽罩的下方设置有样品台支撑杆，样品台支撑杆的下方设置有真空法兰；于所述环形的电子屏蔽罩内设置有电子枪灯丝，电子枪灯丝的四周设置有金属电子枪灯丝罩，电子枪灯丝通过导线与外部控制电源上的灯丝接线端子相连；在电子枪灯丝上方的电子枪灯丝罩和样品台上分别开设有孔，电子枪灯丝罩上的开孔与样品台上的开孔相对应。