激光校准仪

摘要

本发明涉及一种激光校准仪。一种用于测量第一物体与第二物体间相对运动中运动轨迹偏离直线的偏差的装置，包括：安装于一个物体上的发射器单元；安装于另一物体上的光学单元。其中，该发射器单元将至少一束光束指引向该光学元件，使两束或多束光束进入光学元件。发射器单元和光学单元的其中之一装有两个或多个探测器，以探测两束或多束发射到光学单元或从光学单元反射回来的光束。探测器上的光束的位置用于在至少一个自由度上计算一个物体相对于另一物体的运动轨迹与直线的偏差。这使得能够测量直线度、俯仰、滚转、平摆和垂直度。

主权项

1. 一种用于测量第一物体与第二物体之间相对运动中的偏差的装置，包括：能够安装于第一物体上的发射器单元和能够安装于第二物体上的光学单元；该发射器单元装有一个或多个探测器，且其中该发射器单元将至少一束光束指引向光学单元；该光学单元装有三个回射器，以向发射器单元反射三束光束；其中，该一个或多个探测器上的三束反射光束的位置被用于在5个自由度上确定运动轨迹相对于一直线的偏差。