| 发明名称 | 不饱和单体、聚合物、化学增幅抗蚀剂组合物、和形成图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供化学增幅抗蚀剂组合物，该组合物具有对波长不超过220纳米的光的高透明性，优异的抗蚀性，和优异的对衬底的粘附力。通过使用至少一种如下的重复结构单元制备化学增幅抗蚀剂组合物：由通式(III)表示的具有桥接脂环式γ-内酯结构的重复结构单元、由通式(IV)表示的具有桥接脂环式γ-内酯结构的重复结构单元、和由通式(V)表示的具有桥接脂环式γ-内酯结构的重复结构单元。 | ||
| 申请公布号 | CN100509877C | 申请公布日期 | 2009.07.08 |
| 申请号 | CN03801743.1 | 申请日期 | 2003.06.27 |
| 申请人 | 日本电气株式会社 | 发明人 | 前田胜美;中野嘉一郎 |
| 分类号 | C08F20/28(2006.01)I;C08F32/08(2006.01)I;C08G61/12(2006.01)I;C07D307/93(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | C08F20/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 樊卫民;杨 青 |
| 主权项 | 1.一种由通式(I)表示的具有桥接脂环式γ-内酯结构的(甲基)丙烯酸酯衍生物：<img file="C03801743C00021.GIF" wi="1000" he="481" />其中R<sup>1</sup>表示氢原子或甲基，R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>各自表示氢原子或碳数为1～6的烷基，X表示-CH<sub>2</sub>-或-O-，Z表示氢原子或甲基，和n表示0或1，其中当n表示0和X表示-CH<sub>2</sub>-时，R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>各自表示碳数为1～6的烷基。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||