带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器

摘要

一种带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：支撑基座、U型SU-8驱动层、U型金属加热层、热臂单元、冷臂单元、延伸臂。U型SU-8驱动层包括SU-8热臂、SU-8冷臂、SU-8柔性梁；U型金属加热层包括引线电极、蛇形金属热臂、金属冷臂、金属柔性梁；热臂单元包括SU-8热臂和蛇形金属热臂，冷臂单元包括SU-8冷臂和金属冷臂。U型金属加热层完全被U型SU-8驱动层包裹形成三明治结构，带有金属弧形触点的延伸臂垂直于或平行于热臂单元。本发明驱动位移较大、驱动端刚度较高、功耗低、能量利用率高、成本低。

主权项

1、一种带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器，其特征在于包括：支撑基座、U型SU-8驱动层、U型金属加热层、带有金属弧形触点的延伸臂，其中：所述U型SU-8驱动层包括SU-8热臂、SU-8冷臂、SU-8柔性梁，所述U型金属加热层包括引线电极、蛇形金属热臂、金属冷臂、金属柔性梁，连接关系为：引线电极位于支撑基座上方，蛇形金属热臂和金属冷臂分别与引线电极相连，U型SU-8驱动层与支撑基座相连，U型金属加热层完全被U型SU-8驱动层包裹形成三明治结构，蛇形金属热臂被SU-8热臂包裹，金属冷臂被SU-8冷臂包裹，金属柔性梁被SU-8柔性梁包裹，带有弧形触点的延伸臂与热臂单元相连，由U型SU-8驱动层、U型金属加热层和带有弧形触点的延伸臂组成的结构位于支撑基座之上，整个器件形成一种复合悬臂梁式结构。