半导体发光元件的制造方法

摘要

本发明涉及具有Pd电极的半导体发光元件的制造方法，其目的在于提供一种半导体发光元件的制造方法，能够以简易方法回避剥落的绝缘膜上Pd电极向半导体发光元件表面上的附着所引起的成品率降低、焊盘电极未形成部分的发生、p型接触层与焊盘电极接触的问题。该方法具备：在半导体上形成具有开口部的绝缘膜的工序；在该开口部和该绝缘膜上形成Pd电极的工序；对该绝缘膜上的该Pd电极施加物理的力，在残留该开口部的该Pd电极的状态下，将该绝缘膜上的该Pd电极剥离并除去的剥离工序。

主权项

1. 一种半导体发光元件的制造方法，其特征在于，具备：在半导体上形成具有开口部的绝缘膜的工序；在上述开口部和上述绝缘膜上形成Pd电极的工序；以及对上述绝缘膜上的上述Pd电极附加物理的力，在残留上述开口部的上述Pd电极的状态下，将上述绝缘膜上的上述Pd电极剥离并除去的剥离工序。