化学气相沉积制备掺硼导电金刚石薄膜方法

摘要

本发明涉及一种薄膜技术领域的化学气相沉积制备掺硼导电金刚石薄膜方法，将硼酸三甲酯按预定的B/C比溶解于丙酮，并放置于始终保持0℃的鼓泡瓶中，以控制碳源和硼源的流量。部分氢气流量作为载气，用鼓泡法将液体蒸气带出。本发明不会发生硼酸三甲酯掺硼分解出硼酸，对流量计、针形阀和管道的堵塞，制成的薄膜电阻率低(10^-3Ω.·cm)，金刚石成份占绝对优势，质量好。掺硼制备过程安全无毒，没有硼源对大气等污染问题。

主权项

1、一种化学气相沉积制备掺硼导电金刚石薄膜方法，其特征在于，将硼酸三甲酯按预定的B/C比溶解于丙酮，并放置于始终保持0℃的鼓泡瓶中，以控制碳源和硼源的流量，部分氢气流量作为载气，用鼓泡法将液体蒸气带出。