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发明名称
摘要
申请公布号
JP4294305(B2)
申请公布日期
2009.07.08
申请号
JP20020353774
申请日期
2002.12.05
申请人
发明人
分类号
C23C14/00;H05B33/10;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/50;H05B33/14
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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