发明名称
摘要
申请公布号 JP4294305(B2) 申请公布日期 2009.07.08
申请号 JP20020353774 申请日期 2002.12.05
申请人 发明人
分类号 C23C14/00;H05B33/10;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/50;H05B33/14 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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