| 主权项 |
1 一种表面形状测量装置，是一种使非接触式传感器(17)对工件(50)的曲面进行扫描来测量所述工件(50)的曲面变形的表面形状测量装置，其特征在于，包括测量部(2)，所述测量部(2)具有与所述工件(50)的曲面对置的非接触式传感器(17)；对所述工件(50)的曲面沿所述工件(50)的曲面的弯曲方向使所述非接触式传感器(17)移动的Z轴移动单元(24)；对所述工件(50)的曲面沿与所述工件(50)的曲面的弯曲方向正交的方向使所述非接触式传感器(17)移动的X轴移动单元(22)；以及对所述工件(50)的曲面沿所述对置方向移动所述非接触式传感器(17)、使所述非接触式传感器(17)和所述工件(50)的曲面对置的对置方向间的距离保持一定的Y轴移动单元(26)；所述表面形状测量装置还包括对所述非接触式传感器扫描所得的扫描数据进行处理的处理单元，所述处理单元包括根据所述扫描数据测量所述工件(50)的曲面的位置坐标、根据所述位置坐标生成判断所述工件曲面变形用的等高线图的等高线图生成单元，所述处理单元(21)还包括平滑处理单元，所述平滑处理单元从扫描开始点的Y轴方向的变形量D1与扫描结束点的Y轴方向的变形量D2之差△D、扫描开始点的X轴方向的位置坐标X1和扫描结束点的位置坐标X2计算出斜率△D/(X2一X1)，从Y轴方向的从D1开始到D2为止的各位移量减去斜率部分，使X轴方向的斜率为0，通过这样，将所述工件(50)的曲面的位置坐标变换成假想平面的位置坐标。 |
