| 摘要 |
基板检查装置(10)系包含本体基座(12)、在本体基座(12)上可朝Y方向移动之台架(gantry)(20)、在台架(20)之上面可朝X方向移动之探针基座(24)、非接触型感测器探针(26)、探针元件组合(30)、用以对包含在探针元件组合(30)之探针配件进行更换之更换用托盘(60)、及用以对探针配件的高度、位置进行校准之高度基准部(70)等。此外，具备致动器驱动部(110)、基板评估部(112)、控制部(120)，而控制部(120)包含基板检查模组(122)，以及对探针元件组合(30)进行校准定位等，且必要时进行用以自动地更换探针的处理之维修模组(124)。 |
