静电卡盘装置

摘要

一种静电卡盘，包括通过其提供传热气体的倾斜导管或倾斜激光钻孔通路。倾斜导管和/或倾斜激光钻孔通路的一段沿着与所产生的用于将衬底保持到卡盘上的电场的轴不同的轴延伸，从而使等离子体弧和背侧气体的离子化最小化。可以将第一栓塞插入到所述导管中，其中所述第一栓塞的第一外部通道的一段沿着与电场的轴不同的轴延伸。可以将第一和第二栓塞插入到延伸穿过电介质部件和电极中的至少一个的陶瓷套筒。最终，电介质部件的表面可以包括在距电介质部件中心的径向距离处设置的压纹以便改善热传递和气体分布。

主权项

1、一种静电卡盘，包括：圆形电介质部件，其具有用于支撑衬底的顶表面，所述顶表面包括多个凸台，所述多个凸台包括n个子组，其中每个子组的凸台沿着半径逐渐增大的多个同心螺栓分布圆中的一个分布，并且其中所有的所述同心螺栓分布圆均以所述圆形电介质部件的中心为中心。