一种具有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法

摘要

本发明提供了一种具有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法，所述方法包括：对稀土永磁体工件的表面施以喷砂处理；对喷砂过的永磁体工件进行抽真空，在惰性气体下利用离子源对磁体进行离化轰击；离化轰击后，在真空条件下，对铝材进行蒸发；并且在蒸发过程中同时开启电弧电源轰击铬靶块，加载一定的轰偏电压，形成离子流，使铝材蒸发的铝蒸汽离化，以使永磁体工件的表面形成镀层沉积。本发明显著地改善了磁体表面膜层与磁体的结合力，以使磁体在120℃、100％湿度、两个大气压PCT的高压、加速腐蚀试验下表现出优异的抗腐蚀性。

主权项

1、一种具有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法，所述制造方法包括如下步骤：(1)对稀土永磁体工件的表面施以喷砂处理；(2)对喷砂过的永磁体工件进行抽真空，在惰性气体下利用离子源对磁体进行离化轰击；(3)离化轰击后，在真空条件下，对铝材进行蒸发，将蒸发源垂直方向匀速往复运动；并且在蒸发过程中同时开启电弧电源轰击铬靶块，在装载工件和真空室金属外壳炉体上加载一定的轰偏电压，形成离子流，使铝材蒸发的铝蒸汽离化，以使永磁体工件的表面形成镀层沉积。