| 发明名称 | 自动导航车，半导体器件的生产系统以及半导体器件的生产管理方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种AGV和利用该AGV的半导体器件的生产系统以及半导体器件的生产管理方法，根据本发明，可以防止附着有制造工艺中产生的污染物质的衬底污染其他衬底和制造设备。在本发明中，引入经过滤器过滤过的空气到AGV的收容部分内部，并且，排出用过滤器过滤后的收容载体的AGV的收容部分内部的空气。排出侧的过滤器使用能够过滤亚微粒水准杂质的过滤器。在掺杂工艺的前後分别使用不同的容纳衬底的载体。此外，AGV的驱动，载体的选择等由CIM系统控制。 | ||
| 申请公布号 | CN100508155C | 申请公布日期 | 2009.07.01 |
| 申请号 | CN200310114358.9 | 申请日期 | 2003.11.11 |
| 申请人 | 株式会社半导体能源研究所 | 发明人 | 大谷久;辻英一郎 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B60H3/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 梁 永 |
| 主权项 | 1. 一种自动导航车，包括：具有收容载体的空间的车体，其中所述载体收容衬底；第一和第二过滤器；闸门；以及泵，用于经所述第一过滤器把空气吸入到所述空间，并经所述第二过滤器从所述空间排出所述空气，其中，当所述闸门关闭时，所述空间和外界隔开。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县厚木市 | ||