静电钳微影装置及制造静电钳之方法

摘要

本发明系关于一种用于在一微影装置中使用之静电钳，其包含一具备瘤节之材料层，其中由一绝缘体及/或一介电材料所围绕之一电极提供于该等瘤节之间，且本发明系关于一种制造该静电钳之方法。该静电钳可用以将一物件夹持至一微影装置中之一物件支撑件。