图案形成装置

摘要

本发明提供一种图案形成装置，其防止由异物引起对液滴喷头及基板的损伤。由第一异物检测传感器(81)及第二异物检测传感器(82)检测出CF基板W上附着的异物。第一异物检测传感器(81)从第一投光部(81A)朝向第一受光部(81B)射出第一检测光(L1)。另一方面，第二异物检测传感器(82)从第二投光部(82A)朝向第二受光部(82B)射出第二检测光(L2)。即设置有与检测光的方向相反的异物检测传感器。另外，设置有检测基板工作台(14)上的异物的第三异物检测传感器(83)、和检测检查单元(70)的检查台(72)、冲洗回收台(73)及重量测量单元(74)的上表面的异物的第四异物检测传感器(84)。因此，能够在使基板工作台(14)及检查单元(70)移动至液滴喷头的正下方之前，检测出异物而防止液滴喷头及基板的损伤。

主权项

1、一种图案形成装置，其将载置于搬运平台的基板沿主扫描方向搬运，并从设于在与所述主扫描方向正交的副扫描方向上并排设置的滑架的液滴喷头的各喷嘴作为液滴喷出功能液，而在所述基板上形成图案，所述图案形成装置的特征在于，具备：第一异物检测传感器，其设有沿所述基板的上表面射出第一检测光的第一投光部和接受所述第一检测光的第一受光部，该第一投光部和该第一受光部夹着所述搬运平台的搬运路径而设置，基于所述第一受光部接受的受光量来检测附着于所述基板的异物；第二异物检测传感器，其设有沿所述基板的上表面射出第二检测光的第二投光部和接受所述第二检测光的第二受光部，该第二投光部和该第二受光部夹着所述搬运平台的搬运路径而设置，基于所述第二受光部接受的受光量来检测附着于所述基板的异物，并且，使所述第一投光部和所述第二投光部夹着所述搬运路径而设于相反侧。