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发明名称 SELECTIVE EPITAXY PROCESS WITH ALTERNATING GAS SUPPLY
摘要
申请公布号 EP1829086(A4) 申请公布日期 2009.07.01
申请号 EP20050852327 申请日期 2005.11.28
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 KIM, YIHWAN;SAMOILOV, ARKADII, V.
分类号 H01L21/00;H01L21/20;H01L21/31;H01L21/336;H01L21/36;H01L21/469;H01L21/8238 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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