发明名称 圆环型光子筛及其制作方法
摘要 本发明公开了一种圆环型光子筛,该圆环型光子筛是一种在透明介质上,先制造普通的光子筛,然后在每个普通光子筛的衍射孔处刻蚀双圆环位相环,形成有多个同心环带位相衍射单元的位相板。本发明同时公开了一种制作圆环型光子筛的方法。利用本发明,实现了光子筛聚焦衍射的主斑再压缩的光强分布,即实现了激光束远场衍射斑的主斑大小的再压缩。
申请公布号 CN101470270A 申请公布日期 2009.07.01
申请号 CN200710303889.0 申请日期 2007.12.26
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 贾佳;姜骥;谢长青;刘明
分类号 G02B27/44(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 主分类号 G02B27/44(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 周国城
主权项 1、一种圆环型光子筛,其特征在于,该圆环型光子筛是一种在透明介质上,先制造普通的光子筛,然后在每个普通光子筛的衍射孔处刻蚀双圆环位相环,形成有多个同心环带位相衍射单元的位相板。
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