发明名称 | 圆环型光子筛及其制作方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种圆环型光子筛,该圆环型光子筛是一种在透明介质上,先制造普通的光子筛,然后在每个普通光子筛的衍射孔处刻蚀双圆环位相环,形成有多个同心环带位相衍射单元的位相板。本发明同时公开了一种制作圆环型光子筛的方法。利用本发明,实现了光子筛聚焦衍射的主斑再压缩的光强分布,即实现了激光束远场衍射斑的主斑大小的再压缩。 | ||
申请公布号 | CN101470270A | 申请公布日期 | 2009.07.01 |
申请号 | CN200710303889.0 | 申请日期 | 2007.12.26 |
申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 贾佳;姜骥;谢长青;刘明 |
分类号 | G02B27/44(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B27/44(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
主权项 | 1、一种圆环型光子筛,其特征在于,该圆环型光子筛是一种在透明介质上,先制造普通的光子筛,然后在每个普通光子筛的衍射孔处刻蚀双圆环位相环,形成有多个同心环带位相衍射单元的位相板。 | ||
地址 | 100029北京市朝阳区北土城西路3号 |