脉冲化学制剂分配系统

摘要

本发明涉及节约成本的液体处理单元(100)。根据本发明，控制单元(152)，连接到控制阀门(118、120、122)的输入端，用于根据在衬底的给定或所需温度下和/或衬底的气态周围空气的给定或所需的压强下衬底上的处理液体的蒸发速率单个的分配脉冲的各个脉冲持续时间，以及在单个的分配的脉冲之间的各个分配中断的时间间隔，设定将应用到衬底用于液体处理分配脉冲的数量。如此，将处理液体的使用减小到最小数量，因此，减少了用于提供和清洁处理液体的成本。

主权项

1、一种用于处理衬底的液体处理单元(100)，包括贮液池(102、104、106)，用于存贮处理液体；分配器(108)，具有与所述贮液池连接的输入端，以及输出端，所述分配器配置为将输入端接收到的处理液体分配到衬底上；控制阀门(118、120、122)，具有控制输入端并且配置在所述贮液池和所述分配器的输出端之间的液体连接路径中，用于根据在控制输入端接收到的阀门控制信号打开或关断所述液体连接路径；以及控制单元(152)，与所述控制阀门的控制输入端相连，并且用于根据在衬底的给定或所需温度下和/或衬底的气态环境气氛的给定或所需压强下衬底上的处理液体的蒸发速率，设定将应用到衬底上用于液体处理的分配脉冲(402、404、406、408)的数量、单个的分配脉冲的各个脉冲持续时间以及在所述单个的分配脉冲之间的各个分配中断时间间隔；以及根据具有设定的分配脉冲(402、404、406、408)的数量、设定的各个分配脉冲持续时间和设定的在单个的分配脉冲之间的各个分配中断时间间隔的分配脉冲序列，产生一系列的阀门控制信号并且提供给所述控制阀门，用于打开和关断所述液体连接路径。