承载盘中晶粒表面检测系统及其方法

摘要

本发明之承载盘中晶粒表面检测系统包含一三维量测感测器、一焦点计算装置、一影像撷取感测器和一焦点控制装置。三维量测感测器用于量测出一承载盘中之晶粒高度讯号；焦点计算装置则从晶粒高度讯号中计算出晶粒之焦点位置；影像撷取感测器系用于做晶粒表面缺陷检测；而焦点控制装置则依照计算出之晶粒焦点位置调整影像撷取感测器检测时之焦点位置。