| 摘要 |
一种探针高度测量系统，系用以测量一探针治具上探针之高度，该探针高度测量系统包括有一测量单元以及一电气连结于该测量单元之讯号处理单元；该测量单元可供导电且具有一趋向该探针治具位移之测量行程，该讯号处理单元亦电气连结于该探针治具上各探针，而取得该测量单元于该测量行程上之位置资讯；其中，于该测量行程中具有至少一与该探针接触之接触位置，该测量单元于该接触位置产生一侦测讯号传递至至少一该探针，并将该侦测讯号传送至该讯号处理单元，对应该位置资讯以决定至少一位于该接触位置探针之高度。藉由本发明可以快速定位一探针治具上所有探针之高度。 |
