发明名称 | 桶槽漩流混合装置及方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种桶槽漩流混合装置及方法,所述装置包含:本体,底部设有化学液体输出通道;至少一个喷嘴,连接于本体上;至少一个化学液体传输装置,连接于化学液体输出通道及喷嘴上;压力泵,位于化学液体传输装置上。其中,本体内具有化学液体,化学液体具有水平面,通过压力泵的驱动,使化学液体输出至化学液体输出通道,经由进水管路、压力泵、出水管路至喷嘴,由喷嘴射出化学液体,使本体内的化学液体形成漩流,达到化学液体均匀混合的效果。 | ||
申请公布号 | CN101468300A | 申请公布日期 | 2009.07.01 |
申请号 | CN200710305872.9 | 申请日期 | 2007.12.28 |
申请人 | 亚泰半导体设备股份有限公司 | 发明人 | 徐宏信;林志杰;黎源欣 |
分类号 | B01F5/04(2006.01)I | 主分类号 | B01F5/04(2006.01)I |
代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭鸿禧;李友佳 |
主权项 | 1、一种桶槽漩流混合装置,包含:本体,具有相距一定高度的底部和顶部,本体上开设有化学液体输出通道;多个喷嘴,以对称的方式位于本体上;以及压力泵,位于本体外,压力泵具有入口及出口,其入口连接到化学液体输出通道,其出口连接到多个喷嘴;其中,本体内具有至少一种化学液体,通过压力泵的驱动,使化学液体自化学液体输出通道输出,经由压力泵至喷嘴射出,使化学液体内形成漩流。 | ||
地址 | 中国台湾新竹县湖口工业园区复兴路10号 |