移动体装置、图案形成装置及曝光装置、以及元件制造方法

摘要

于投影单元(PU)之＋X,－X侧，分别将复数个Z读头(76,76)以Y标尺之有效宽度之一半以下的间隔(WD)与X轴平行地排列成随时有各两个Z读头成对对向于晶圆载台上之一对Y标尺(反射面)。同时对向于Y标尺之两个Z读头所构成之读头对中之优先读头的测量值，在优先读头之测量值因附着于标尺表面之杂质等导致异常的情形时，系使用另一读头的测量值，而可稳定且高精度地测量载台在至少Z轴方向的位置资讯。