| 摘要 |
本发明系有关一种扫描式三角测量系统及方法，其包括一扫瞄模组、一第一光检测器、一第二光检测器、一分光装置及一讯号处理单元，该扫瞄模组用以产生一平行光轴扫描的扫描光束，并以该分光装置将该扫描光束分成至少两束，其一该扫描光束由该第一光检测器接收，用以做为位置检测与信号补偿，而另一该扫描光束则作为三角量测的测试光束，该测试光束经过一待测物后散射，再经由一成像透镜而成像于该第二光检测器上，且该讯号处理单元分别与该第一光检测器、该第二光检测器及该扫描模组电性连接以控制该扫描模组运作，再将该第一光检测器及该第二光检测器之检测信号进行运算处理及比对，进而求得该待测物的形貌尺寸参数者。 |
