防止半导体元件中之相邻接触结构短路的方法

摘要

一种防止半导体元件中之相邻接触结构短路的方法，系于形成有接触开口的层间介电质层结构，在形成一阻障金属层前形成一侧壁保护层于接触开口的侧壁上，侧壁保护层覆盖并保护接触开口之侧壁，使接触开口之侧壁不会与湿气发生反应造成层间介电质层结构不正常的损失，进而防止层间介电质层结构受有机金属先驱物的损害，而造成相邻接触结构(Contact)的搭接短路。