照明光学系统、曝光设备及装置制造方法

摘要

一照明光学系统，包含位于光源与照明光学系统之瞳孔之间的第一极化控制单元，与位于该第一极化控制单元与该瞳孔之间的第二极化控制单元，其中该瞳孔上的区域包括被分类成第一群与第二群的复数个部分区域，该第一群包括具有最大面积的部分区域，而该第二群包括不同于具有该最大面积之该部分区域的部分区域，且该第二极化控制单元控制仅属于该第二群之该部分区域中的极化状态。