发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UNE CONNEXION ELECTRIQUE, A BASE DE NANOTUBES, ENTRE DEUX SURFACES EN REGARD ET CIRCUIT INTEGRE LA COMPORTANT
摘要 Des surfaces, en regard, en matériau semi-conducteur sont formées puis transformées en semi-conducteur poreux. Le semi-conducteur poreux est ensuite transformé en matériau métallique poreux (7) par siliciuration. Le matériau métallique poreux sert ensuite de catalyseur à la croissance des nanotubes (8) de carbone qui connectent électriquement les surface en regard, en matériau métallique poreux (7).
申请公布号 FR2925761(A1) 申请公布日期 2009.06.26
申请号 FR20070008956 申请日期 2007.12.20
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL 发明人 LOUIS DIDIER
分类号 H01L21/02;B82B3/00;H01L23/52 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址