发明名称 |
PROCEDE DE REALISATION D'UNE CONNEXION ELECTRIQUE, A BASE DE NANOTUBES, ENTRE DEUX SURFACES EN REGARD ET CIRCUIT INTEGRE LA COMPORTANT |
摘要 |
Des surfaces, en regard, en matériau semi-conducteur sont formées puis transformées en semi-conducteur poreux. Le semi-conducteur poreux est ensuite transformé en matériau métallique poreux (7) par siliciuration. Le matériau métallique poreux sert ensuite de catalyseur à la croissance des nanotubes (8) de carbone qui connectent électriquement les surface en regard, en matériau métallique poreux (7). |
申请公布号 |
FR2925761(A1) |
申请公布日期 |
2009.06.26 |
申请号 |
FR20070008956 |
申请日期 |
2007.12.20 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL |
发明人 |
LOUIS DIDIER |
分类号 |
H01L21/02;B82B3/00;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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