MICROMECHANICAL SENSOR SWITCH FOR THRESHOLD-RELATED SWITCHING OF ELECTRICAL CONTACTS

摘要

Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Sensorschalter zum schwellwertbedingten Schalten von mindestens zwei elektrischen Schaltkontakten (2, 6) in Abhängigkeit von einer Sensorgröße eines Messmediums. Dabei ist mindestens ein zu einem Grundkörper (5) beweglicher Schaltkontakt (2) an einen mikromechanischen Verformungskörper (1, 3) gekoppelt, um ihn zwischen einer geöffneten Schalterposition und einer geschlossenen Schalterposition zu bewegen. Der mikromechanische Verformungskörper umfasst ein sensitives Material (3), welches vom Messmedium umgeben ist und beim Einwirken der Sensorgröße eine Verformung erfährt, die bei Erreichen des Schwellwertes der Sensorgröße zum Wechsel zwischen der geöffneten und der geschlossenen Schalterposition führt.