Verfahren und Vorrichtung zur Temperaturmessung an zu beschichtenden Substraten

摘要

Bei einem Verfahren zur Temperaturmessung an einem zu beschichtenden Substat, bei dem die Temperatur des Substrats während der Beschichtung durch einen Temperatursensor ermittelt und der so ermittelte Temperaturwert an eine Messeinrichtung weitergeleitet wird, wird vorgeschlagen, dass der Temperatursensor an einer der zu beschichtenden Oberfläche abgewandten Seite des Substrats so angeordnet wird, dass eine Beschichtung des Temperatursensors ausgeschlossen ist.