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发明名称 Längserstreckte Vakuumanlage zur ein- oder beidseitigen Beschichtung flacher Substrate
摘要
申请公布号 DE10352143(B4) 申请公布日期 2009.06.25
申请号 DE20031052143 申请日期 2003.11.04
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 ERBKAMM, WOLFGANG;SCHULZE, DIETMAR;MELCHER, JENS;GAWER, OLAF
分类号 C23C14/34;C23C14/56 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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