振动器、使用该振动器的共振器以及使用该共振器的机电滤波器

摘要

提供了一种振动器和共振器，该振动器在振动时具有小的振动能量散逸和高Q值。具有梁结构的振动器的支持部厚于振动器，且支持部沿梁的长度方向是不对称的。因此，由于支持部的脆弱性得到改善，振动能量从支持部的损耗可以减小，且由于表面粗糙导致的振动能量的损耗减小，具有高Q值的共振器被提供。

主权项

1. 一种振动器，由形成于单晶基板的背面内的腔体以及一振动器构成，该振动器形成为使得振动器的至少一个端部在该单晶基板的前表面和该腔体的底面之间的厚度内由支持部支持，其中该振动器的厚度小于该支持部的厚度，且该支持部相对于该振动器的梁的长度方向是不对称的。