布线图案的检查设备、检查方法、检测设备、检测方法

摘要

一种布线图案检查设备包括光源(10)、引导将来自光源的光引导为基本上平行的平行光引导部件、以及光提取部件，该光提取部件从由平行光引导部件引导的光中提取横向波光分量，所述横向波光分量与光引导方向垂直相交，并且该光提取部件将横向波光分量转换为特殊的偏振分量，并用所述特殊偏振分量照射工件(51)，而且从通过由工件反射所发射的特殊偏振分量获得的反射光中提取垂直波光分量。

主权项

1、一种布线图案检测设备，该设备在光学上检测工件的最上层布线图案，该工件包括在透光基膜的至少前/后表面上具有布线图案的半导体封装的多层布线衬底，该设备包括：光源；平行光引导装置，用于将来自光源的光引导为基本上平行的光；第一提取装置，用于从平行光引导装置引导的光中提取第一线性偏振光，该第一线性偏振光的电场矢量方向与所述光的引导方向垂直相交；圆偏振光转换装置，用于将由第一提取装置提取的第一线性偏振光转换为圆偏振光；照射装置，用于用由圆偏振光转换装置转换的圆偏振光照射工件；第二提取装置，用于从由所述工件反射由照射装置发射的圆偏振光而获得的反射光中提取第二线性偏振光，该第二线性偏振光的电场矢量方向与第一线性偏振光垂直相交；选择装置，用于选择波长区域，在所述波长区域中最上层布线图案的反射光量与最上层布线图案以外的图案的反射光量之间的差在第二线性偏振光中大于预定值；所选波长光分量引导装置，用于引导在由选择装置选择的波长区域中的光分量；以及图像拾取装置，用于对由第二提取装置提取的第二线性偏振光进行成像。