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经营范围
发明名称
SLIT COATER
摘要
申请公布号
KR20090006244(U)
申请公布日期
2009.06.24
申请号
KR20070020388U
申请日期
2007.12.20
申请人
发明人
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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