发明名称 |
高精度光刻胶分配泵 |
摘要 |
本实用新型涉及匀胶设备化学药品供应系统中的计量泵,具体为一种高精度光刻胶分配泵,解决在对需要精确控制化学药品的量的时候,普通的药液泵无法实现精确控制等问题。该分配泵的泵体为两端开口的圆形腔体,泵体结构为有内、外两个腔的结构;囊体的内腔中设有可伸缩的波纹管,波纹管连接部分一端安装于波纹管开口端内壁,波纹管连接部分的另一端连接动力部分,囊体的内腔与泵体的外腔相通。采用本实用新型使动力位移在转换成体积变化的时候比例缩小很大,动力的每一次较大的移动,体积只有很小的变化,从而间接控制化学药品的微量输出,适用于化学药品粘度在100cp以下的情况,对化学药品的量控制在0.1~5.0ml之间,精度可以控制在±0.02ml之内,重复精度为±0.02ml。 |
申请公布号 |
CN201262145Y |
申请公布日期 |
2009.06.24 |
申请号 |
CN200820015388.2 |
申请日期 |
2008.09.03 |
申请人 |
沈阳芯源微电子设备有限公司 |
发明人 |
王冲 |
分类号 |
F04B43/12(2006.01)I;F04B43/08(2006.01)I;F04B43/00(2006.01)I |
主分类号 |
F04B43/12(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳科苑专利商标代理有限公司 |
代理人 |
张志伟 |
主权项 |
1、一种高精度光刻胶分配泵,其特征在于:该分配泵设有泵体、囊体和动力部分,泵体为两端开口的圆形腔体,泵体结构为有内、外两个腔的结构,泵体设有泵体外壁和可向内、外变形的泵体内壁,泵体内壁以内为泵体的内腔,泵体内壁与泵体外壁之间的空腔为泵体的外腔,泵体两端开口处设有入口单向阀和出口单向阀;囊体的内腔中设有可伸缩的波纹管,波纹管为一端封闭、一端开口的结构,波纹管连接部分一端安装于波纹管开口端内壁,波纹管连接部分的另一端连接动力部分,囊体的内腔与泵体的外腔相通。 |
地址 |
110168辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号 |