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经营范围
发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR SUPPLYING OZONATED WATER MIXTURE, AND SUBSTRATE TREATING FACILITY USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR100904458(B1)
申请公布日期
2009.06.24
申请号
KR20070126718
申请日期
2007.12.07
申请人
发明人
分类号
H01L21/304;H01L21/02
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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