TESTING MECHANICAL-ELECTRICAL PROPERTIES OF MICROELECTROMECHANICAL SENSORS (MEMS)

摘要

Die Erfindung soll ein Testen akustischer mikroelektromechanischer Sensoren ermöglichen. Vorgeschlagen wird dazu eine Testvorrichtung für die mechanisch-elektrischen Eigenschaften von mikroelektro-mechanischen Sensoren (MEMS), die mechanisch schwingfähige Teile enthalten und sich in einer Vielzahl auf einem Trägersubstrat (1) befinden. Die Testvorrichtung (4) hat eine Prüfkarte und es sind über elektrische Verbindungen mit der Prüfkarte verbundene Kontaktnadeln (5) zum Aufsetzen auf Kontaktinseln der mikroelektro-mechanischen Sensoren vorgesehen. Eine in einem vordefinierten Abstand zum Trägersubstrat (1) positionierbare Schallquelle (6) ist zugegen. Ein Referenzsensor (7) befindet sich in einem bestimmten Abstand von der Schallquelle (6). Vorgesehen sind Schallführungskanäle, ausgebildet für eine Schallübertragungs-Verbindung zwischen der Schallquelle (6), einem der mikroelektro-mechanischen Sensoren auf dem Trägersubstrat (1) und dem Referenzsensor (7). Dieser Aufbau ist mechanisch robust und damit stör-unanfällig. Ein schwingungsgedämpftes Verhalten der Schallquelle in Bezug auf von außerhalb einwirkende Schwingungen ist möglich. Dadurch werden entsprechende Störungen durch mechanische Schwingungen der Umgebung der Schallquelle verringert.