基板的制造装置及其方法

摘要

本发明提供一种效率地进行映像处理中使用的液晶显示装置(LCD)等平板显示装置用的基板的压痕检查与硅涂敷的基板的制造装置及其方法。基板的制造装置具有配置在高度彼此不同的上下层上的检查模块与涂敷模块。具体而言，检查模块对附着于基板上而向基板输出信号的信号收发部件与基板的结合状态进行检查。涂敷模块在信号发送部件和基板上形成用于保护信号收发部件的导线的保护膜。此时，由于检查模块与涂敷模块配备在高度彼此不同的上下层上，所以可提高空间利用率。

主权项

1、一种基板的制造装置，其特征在于，具备：检查模块，对向基板输入输出信号的信号收发部件与所述基板间的结合状态进行检查；以及涂敷模块，配置在与所述检查模块彼此高度不同的上下层，在所述信号收发部件与所述基板上形成保护膜，该保护膜用于保护所述信号收发部件的导线。