摘要 |
Акустоэлектронный ПАВ-сенсор, содержащий разделенные вакуумным зазором две монокристаллические пьезопластины, на поверхности которых расположены два идентичных входной передающий и выходной приемный встречно-штыревые преобразователи (ВШП), отличающийся тем, что толщины пьезопластин H1, Н2 ≤ длины волны λ, а ширина вакуумного зазора (Н) меньше, или сравнима с длиной волны λ. |