| 发明名称 | 一种压力控制装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提出一种用于控制蚀刻机台内腔室压力的压力控制装置，包括：与腔室相连的压力控制阀，与压力控制阀连接的第一气动阀，连接腔室的主控制气动阀和次控制气动阀，通过第二气动阀连接腔室的气压计，上述压力控制阀与上述气压计形成信号通路，上述第一气动阀与上述主控制气动阀之间也形成有信号通路。采用本实用新型，当腔室内的气体压力发生变化时，其起伏较小，从而能更好地维持住腔室内的气体压力，减少蚀刻机因此原因而停止工作的情况。 | ||
| 申请公布号 | CN201255840Y | 申请公布日期 | 2009.06.10 |
| 申请号 | CN200820133211.2 | 申请日期 | 2008.08.22 |
| 申请人 | 和舰科技(苏州)有限公司 | 发明人 | 张华 |
| 分类号 | G05D16/00(2006.01)I;G05D16/14(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I | 主分类号 | G05D16/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张春媛 |
| 主权项 | 1. 一种控制腔室压力的压力控制装置，其特征在于，包括：与腔室相连的压力控制阀，与压力控制阀连接的第一气动阀，连接腔室的主控制气动阀和次控制气动阀，通过第二气动阀连接腔室的气压计，上述压力控制阀与上述气压计形成信号通路，上述第一气动阀与上述主气动阀之间也形成有信号通路。 | ||
| 地址 | 215025江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 | ||