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发明名称
摘要
申请公布号 JP4278242(B2) 申请公布日期 2009.06.10
申请号 JP19990258253 申请日期 1999.09.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/339;H03H15/00;H01L29/762 主分类号 H01L21/339
代理机构 代理人
主权项
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