Sensormodul und Verfahren zur Herstellung des Sensormoduls

摘要

Ein Sensormodul weist einen auf einem Leitergitter (2) aufgebrachten Sensorchip (3) auf, der über eine Sensorfläche (18) verfügt. Von der Sensorfläche (18) führt ein Kanal (17) zu einem Kontaktende (5), durch den ein das Sensormodul umgebendes Medium zu der Sensorfläche (18) des Sensorchips (3) gelangen kann. Bei dem Sensorchip (3) handelt es sich vorzugsweise um einen Differenzdrucksensor, der den Differenzdruck an der Sensorfläche (18) und eine gegenüberliegende Sensorfläche erfasst.